硅单晶生长炉
Ø设备装料量大，生产效率高，生产成本低；
Ø采用全面数字化管理，配合高精度的CCD控制系统，全面提供设备自动化程度；
Ø采用自动报警检测和安全泄放装置，保证设备安全可靠。
名称
备注
工艺
直拉法
设备直径/mm
1600
产品尺寸/inch
8~12
装料量/kg
≥850
适用热场规格/inch
32/36/40
最大等径长度/mm
4700
主体占地尺寸/mm
3440*2540*13000
全自动硅芯炉
