电子级多晶硅化学气相沉积炉
采用银钢复合板作为反应腔体，对反应原料进行汽化、提纯、过滤等一系列纯化操作后，将高纯反应气体通入到反应器内，发生化学气相沉积反应生产高纯度的多晶硅产品，满足半导体级硅料的要求。
可根据客户需求进行非标定制.
硅单晶生长炉
全自动硅芯炉
